通过微弱的光发射和热发射来定位半导体器件上失效缺陷位置的显微镜成像系统。
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产物型号：C11222-16 | 产物名称：PHEMOS-1000 微光显微镜 | |
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产物型号：C10506-06-16 | 产物名称：iPHEMOS-MP倒置光发射显微镜 | |
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产物型号：C14229-01 | 产物名称：Thermal-F1 热发射显微镜 | |
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产物型号：C10506-05-16 | 产物名称：iPHEMOS-DD倒置光发射显微镜 |
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